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鄭州勻膠機半導體薄膜旋涂儀 可真空吸附定制
日期：2026-07-17 06:22
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摘要：鄭州成越科學儀器CY-SPC系列高精度勻膠機（旋涂儀）專為高校實驗室、科研院所及半導體研發使用，采用無刷電機驅動，轉速連續可調，配備真空吸附平臺，可穩定完成光刻膠、氧化物薄膜、高分子涂層的旋涂制備。設備內置多段程序，轉速區間0–10000rpm，旋涂均勻性高，腔體耐腐蝕，支持基片尺寸定制，整機自帶負壓系統，提供上門安裝與技術培訓
鄭州成越科學儀器CY-SPC系列高精度勻膠機（旋涂儀）專為高校實驗室、科研院所及半導體研發使用，采用無刷電機驅動，轉速連續可調，配備真空吸附平臺，可穩定完成光刻膠、氧化物薄膜、高分子涂層的旋涂制備。設備內置多段程序，轉速區間0–10000rpm，旋涂均勻性高，腔體耐腐蝕，支持基片尺寸定制，整機自帶負壓系統，提供上門安裝與技術培訓。
核心技術參數
| 設備型號 | CY-SPC100 |
| 驅動電機 | 直流無刷電機，運行平穩無抖動 |
| 轉速范圍 | 0～10000 rpm，精度±1 rpm |
| 程序段數 | 10段程序可編輯，分段控速控時 |
| 基片平臺 | 真空吸附吸盤，適配10mm~8英寸基片 |
| 旋涂均勻性 | ≤±3% |
| 整機電源 | AC220V 50Hz |
應用場景
廣泛用于半導體晶圓光刻工藝、微納加工、高分子薄膜、溶膠凝膠涂層、光電材料、玻璃基片鍍膜、高校材料實驗室、科研院所微加工平臺。
常見問題FAQ
Q：這款旋涂儀可以適配多大尺寸樣品？
A：標配支持10mm小片到6英寸晶圓，可定制升級8英寸真空吸盤。
Q：能不能設置多段變速旋涂程序？
A：支持10段速度與時間自由編輯，預鋪膠+高速勻膠分段運行。
Q：是否自帶真空泵？
A：整機集成負壓真空系統，開箱即可使用，無需額外選配真空泵。
Q：腔體耐酸堿腐蝕嗎？
A：腔體采用防腐工程塑料，可耐受光刻膠、有機溶劑長期揮發腐蝕。
Q：售后質保與交貨周期？
A：標準機型現貨，交貨7~10天，整機質保一年，終身提供工藝技術支持。
Q：可以做非標自動化勻膠設備嗎？
A：支持全自動進料、密閉腔體、防塵凈化款定制，可對接手套箱使用。
企業實力保障：鄭州成越科學儀器有限公司，專注真空薄膜與微納加工設備研發生產，勻膠機穩定性高、性價比高，已服務**數百所高校與新材料企業。可免費提供旋涂工藝方案，支持試樣測試，歡迎實地考察。咨詢電話：0371-55199322
