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新聞詳情
鄭州高校實驗室 三靶磁控濺射鍍膜儀支持定制
日期：2026-07-17 06:14
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摘要：鄭州成越科儀CY-MSH325-III高真空三靶磁控濺射鍍膜儀，專為高校、科研院所及企業研發設計，可制備金屬、半導體、氧化物等多種薄膜
鄭州成越科儀CY-MSH325-III高真空三靶磁控濺射鍍膜儀，專為高校、科研院所及企業研發設計，可制備金屬、半導體、氧化物等多種薄膜。采用304不銹鋼腔體，φ325mm腔體配分子泵系統，極限真空達1×10??Pa。支持直流/射頻雙電源，靶材2英寸，樣品臺加熱500℃、轉速可調。設備通過CE認證，提供上門安裝培訓與質保服務。
核心技術參數
| 設備型號 | CY-MSH325-III-DCDCRF-SS |
| 腔體規格 | φ325mm×550mm，304不銹鋼材質 |
| 真空系統 | 600L/S分子泵組，極限真空1×10??Pa |
| 靶材配置 | 3個2英寸水冷磁控靶，獨立控溫 |
| 供電系統 | DC 500W×2 + RF 300W 雙電源 |
| 樣品臺參數 | φ150mm，室溫~500℃可調，轉速1-20rpm |
| 整機功率/電壓 | 3.5KW，AC220V |
應用場景
廣泛應用于材料科學研究、半導體薄膜制備、新能源材料研發、光學薄膜鍍膜、高校實驗室教學、科研院所專項實驗等場景，是科研級薄膜制備核心設備。
常見問題FAQ
Q：設備可以鍍哪些材料？
A：可鍍金屬（金、銀、銅、鋁等）、半導體材料、氧化物、氮化物等各類薄膜材料，完全適配科研級高精度薄膜制備需求。
Q：設備交貨周期是多久？
A：標準現貨款交貨周期2-3周，非標定制款根據需求4-6周，全程包含上門安裝、調試與技術培訓服務。
Q：是否支持非標定制？
A：支持深度定制，可按需擴展4靶、6靶配置，可放大腔體尺寸、升級真空系統、增加自動化控制模塊。
Q：設備售后質保政策是什么？
A：整機享受1年質保，核心真空、電源部件2年質保，終身提供免費技術咨詢、設備維護指導。
Q：高校科研單位是否有專項優惠？
A：針對高校、職業院校、科研院所提供專項采購折扣，可協助適配科研經費申報、實驗室配套方案定制。
企業實力保障：鄭州成越科學儀器有限公司為高新技術企業，深耕材料制備設備研發生產多年，設備通過CE權威認證，產品覆蓋**30+省市，遠銷海外。可免費提供個性化鍍膜工藝方案、樣品測試服務，歡迎各大高校、企業客戶實地考察洽談。咨詢**：400-800-1730
